*終拋光液是為了去除金剛石拋光步驟后留下的*后一層表面變形/劃痕。針對不同的材料類型和制備分析要求，標樂有多種氧化物拋光介質可供選擇。
終拋液是否會結晶？ 終拋液在使用過程中有可能結晶，懸浮液由于結晶溫度較低且容易蒸發，并可能在拋光表面形成難以去除的晶體。這在MasterMet等常規二氧化硅懸浮液中很常見，但也有不結晶的終拋液，如 MasterMet 2。在使用常規二氧化硅懸浮液拋光后，建議立即清洗拋光布，以防結晶。非結晶型二氧化硅懸浮液則不用擔心二氧化硅的結晶，因此清潔要求較低，使用過程中具有一定的優勢，尤其在振動拋光時。
下圖(a)顯示了常規二氧化硅在低速清洗拋光后幾秒鐘的再結晶效果。 懸浮液在表面形成了一個玻璃層，在隨后的清潔過程中往往會裂開，造成輕微的劃痕，并在表面嵌入二氧化硅污染物。
上圖(b)顯示了放置幾分鐘的終拋液滴，以進一步說明蒸發效應和隨后的再結晶。MasterMet和MasterPrep都會結晶，建議在拋光后立即清洗樣品和拋光布，所以在終拋*后10-15秒用水邊拋光邊沖洗。用水沖洗表面也有助于保證拋光布的表面清潔，確保拋光布有更長的使用壽命。
終拋液使用量？ 氧化物拋光懸浮液通常用在柔軟絨毛拋光布或無紡拋光布上，如MicroFloc、MicroCloth、MasterTex或ChemoMet等。使用時確保拋光布的表面被懸浮液充分浸潤，柔軟絨毛拋光布或無紡拋光布在使用過程中能保留足夠的液體，以確保拋光效果。下圖中展示了確保拋光性能的氧化物拋光液理想用量（保證潤濕性）。
清潔注意事項？ 強烈建議在*后拋光步驟的*后10-15秒，通過用水沖洗表面來預清潔樣品和拋光布，如下圖所示。用水沖洗表面有助于去除拋光布表面和樣品上的氧化物拋光介質。這樣做的好處是通過表面干凈的拋光布來確保拋光的可重復性，同時也提高了拋光布的使用壽命。