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臺式電子顯微鏡 TM4000II/TM4000PlusII

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臺式掃描電子顯微鏡(SEM)全新升級

我們以“更高畫質、更易于使用、更易于觀察”為理念，開發出TM4000系列。

在此基礎上，我們又推出功能更為多樣的TM4000Ⅱ系列。

為您提供全新的觀察和分析應用。

觀察圖像3分鐘。可迅速獲得所需數據，并制作報告。

觀察與分析的靈活性
自動獲取各類數據。快速切換！

可快速獲得元素分布圖*2

*1TM4000PlusⅡ的功能。

*2選配

使用Camera Navi*的話，就是如此簡單
Camera Navi圖像讓您輕松找到視野，分布圖(MAP)功能全程支持您的觀察

*選配：Camera Navi系統

操作簡單且快捷
觀察圖像只需 3 分鐘。
可快速觀察圖像，并導出測試報告。
Report Creator可讓您輕松制作報告
只需選擇圖像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的報告

即便是絕緣物樣品，也無需預處理，就可直接進行觀察。
“靜電減輕模式”可抑制靜電現象
對于容易產生靜電的樣品，可使用“靜電減輕模式”，在抑制靜電的狀態下進行觀察。
只需用鼠標在軟件上點擊即可切換到“靜電減輕模式”。

可在低真空的條件下進行多種觀察
對于容易產生靜電的粉末或含水等樣品，可結合其目的進行觀察。

可在低真空的條件下進行二次電子像（表面形狀）觀察。
無需預處理，也可以觀察絕緣物和含水、含油樣品的表面
不僅是觀察傳統的導電性樣品，還可以在無預處理的條件下觀察絕緣物和含水、含油樣品。可快速進行二次電子像與背散射電子像之間的切換。
高感度低真空二次電子檢測器
采用高感度低真空二次電子檢測器(UVD)。通過檢測由于電子線與殘留氣體分子之間的碰撞而產生的光，可以觀察帶有二次電子信息的圖像。此外，通過控制該檢測器，來檢測電子照射所產生的光，可以獲得CL信息（UVD-CL：帶有CL信息的圖像）。

高感度低真空二次電子檢測器的檢測原理

可支持加速電壓20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速電壓20 kV。
憑借EDS分析（選配），可進行更高計數率解析。
通過加速電壓20 kV，實現EDS元素分布圖的高S/N化

Multi Zigzag（選配）
可實現在廣域范圍內進行SEM觀察。
搭配自動馬達臺，可實現低倍率，高精度，大范圍的觀察分析。

EM 樣品臺（選配）
可輕松觀察 STEM 圖像
與全新開發的 STEM 樣品臺和高靈敏度低真空二次電子檢測器(UVD)配合使用，可輕松觀察小倍率 STEM 圖像。
可輕松觀察薄膜樣品和生物樣品。

* UVD為 TM4000Plus II上的配件。

樣品：研磨劑
加速電壓：20 kV
觀察信號：(a) STEM 圖像, (b) 背散射電子像
放大倍率：10000 倍

項目	TM4000PlusII	TM4000II
倍率	×10～×100,000（照片倍率） ×25～×250,000（顯示器倍率）
加速電壓	5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
圖像信號	背散射電子二次電子復合圖像（背散射電子+二次電子）	背散射電子
真空模式	導電體（僅背散射電子）標準靜電減輕	標準靜電減輕
樣品可移動范圍	X：40 mm Y：35 mm
*大樣品尺寸：	80 mm（直徑） 50 mm（厚度）
電子槍	集中燈箱(Pre-Centered Catridge Filament)
檢測器	背散射電子：高感度4分割背散電子檢測器二次電子：高感度低真空二次電子檢測器	背散射電子：高感度4分割背散射電子檢測器
排氣系統（真空泵）	渦輪分子泵：67 L/s　1臺隔膜泵：20 L/min
尺寸與重量	主體：330（寬度）×614（進深）×547（高度） mm、54 kg（附帶馬達驅動的樣品臺）主體：330（寬度）×617（進深）×547（高度） mm、54 kg（附帶手動樣品臺）隔膜泵：144（寬度）×270（進深）×216（高度） mm

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